光氧催化廢氣處理設備廣泛應用于有機廢氣處理和廢氣除臭領域，具有凈化效率高、安裝使用方便等優點。光解廢氣處理一般可分為三個過程:氧化反應、還原反應和分解反應。在純碳氫化合物的情況下，反應的產物主要是無污染的二氧化碳和水。

　　光解廢氣處理的具體原理是用特殊的高能、高臭氧紫外線光束照射空氣中的有機氣體和氧分子，使有機廢氣的分子鍵斷裂并釋放出來。同時，空氣中的氧分子分解產生游離活性氧，游離狀態的污染物分子與臭氧反應，轉化為無害化合物，達到廢氣處理的效果。

　　光解廢氣處理設備中的高能紫外光與空氣和二氧化鈦反應產生的臭氧和羥基自由基對惡臭氣體進行協同分解和氧化反應。同時，大分子惡臭氣體會在紫外線輻射的作用下導致惡臭氣體分子鏈結構斷裂，惡臭氣體會被氧化成無味無味的二氧化碳和水。

　　光解廢氣處理設備中使用的大功率高能紫外燈發出的紫外波長主要為254納米和185納米。為了斷裂廢氣成分的分子鍵，燈管必須發射比污染物分子結合能更強的光子能量。185納米的光子能量為647千焦/摩爾，而大多數有機廢氣的分子結合能低于185納米的紫外光。

　　適用于光解廢氣處理工藝的工業廢氣包括氨、三甲胺、甲硫基氫、甲硫醇、甲基硫醚、二甲基二硫、二硫化碳、苯乙烯、聚乙烯、聚丙烯、揮發性有機化合物、苯、甲苯、二甲苯等。