催化燃燒廢氣處理技術是目前有機廢氣治理領域十分高效的治理手段，熱氧化裝置就是我們常說的催化燃燒爐（CO）。催化燃燒廢氣處理技術是通過催化劑的作用對高濃度廢氣進行氧化反應，使廢氣中的有機碳氫化合物轉化為無害的水和二氧化碳并直接排入大氣。

　　由于催化燃燒裝置中催化劑的存在，廢氣進入裝置后在約為250℃的催化起燃溫度下便可進行反應。催化氧化是一個化學反應過程，而并非明火的燃燒，能徹底解決脫附時的二次污染。氣體燃燒后生成CO₂和H₂O并釋放出大量熱量，催化燃燒過程對廢氣的凈化效率可達98%以上。

　　催化燃燒熱氧化裝置通常配合廢氣濃縮裝置（活性碳吸附濃縮、樹脂吸附濃縮及沸石轉輪濃縮）進行使用，廢氣濃縮裝置吸附飽和后，利用熱空氣或蒸汽將濃縮裝置內的有機廢氣脫附出來。通過控制脫附過程流量可將有機廢氣濃度濃縮 10-15倍，脫附氣流經催化床的燃燒機裝置加熱至250℃～300℃左右起燃。

　　催化燃燒反應過程中所產生的熱量通過催化燃燒床內的熱交換器一部分用來加熱脫附出的高濃度廢氣，另外一部分加熱外來的空氣做濃縮裝置脫附氣體使用，再生處理系統靠廢氣中的有機廢氣做能源，無須外加能源基礎上使再生過程達到自平衡循環，極大地減少了系統運行的能耗。

　　裝置一般達到脫附催化燃燒自平衡過程須啟動燃燒器1小時左右，達到熱平衡后自動關閉電加熱裝置，這時再生處理系統靠廢氣中的有機溶劑做燃料，在無須外加能源基礎上使再生過程達到自平衡循環，極大地減少能耗，并且無二次污染的產生，整套吸附濃縮和催化燃燒過程由PLC實現自動控制。