含氟廢氣通常是指含有氣態(tài)HF和SiF₄的廢氣，其主要來(lái)源于冶金工業(yè)的鋁電解和煉鋼過(guò)程，化學(xué)工業(yè)的磷肥生產(chǎn)以及建筑行業(yè)的陶瓷、玻璃、水泥和磚瓦等生產(chǎn)過(guò)程。含氟廢氣的處理方法主要有濕法吸收和干法吸附兩種，根據(jù)吸收劑的不同又將吸收凈化法分為水吸收法和堿液吸收法。

　　吸附凈化法是將含氟廢氣通過(guò)裝填固體吸附劑的吸附裝置進(jìn)行吸附從而達(dá)到除氟的目的，可以采用工業(yè)氧化鋁、氧化鈣和氫氧化鈣等作為吸附劑。比如凈化鋁電解廠(chǎng)含氟廢氣常采用的吸附劑為工業(yè)氧化鋁，吸附含氟廢氣的氧化鋁可直接進(jìn)入電解鋁的生產(chǎn)過(guò)程中，不存在吸附劑再生的問(wèn)題且凈化效率高達(dá)98%以上。

　　含氟廢氣干法吸附法在凈化的過(guò)程中不存在含氟廢水避免了二次污染的產(chǎn)生。和其他凈化方法相比干法吸附凈化基建費(fèi)用和運(yùn)行費(fèi)用都是比較低的，并且可適用于各種各樣的氣候條件，特別是在北方冬季也不存在保溫防凍的問(wèn)題。

　　濕法吸收處理含氟廢氣技術(shù)采用水、堿性溶液或某些鹽類(lèi)溶液來(lái)吸收廢氣中的氟化物從而達(dá)到凈化回收的目的。該技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)是凈化設(shè)備體積小、易實(shí)現(xiàn)，凈化工藝過(guò)程可連續(xù)操作和回收各種氟化物且凈化效率高、效果好。其缺點(diǎn)是會(huì)造成二次污染且在寒冷地區(qū)需要安裝保溫措施。

　　水吸收法是利用HF和SiF₄都極易溶于水的特點(diǎn)，氟化氫溶于水生成氫氟酸，四氟化硅溶于水則成為一定濃度的硅氟酸和硅膠。硅氟酸可與工業(yè)食鹽反應(yīng)生成副產(chǎn)物氟硅酸鈉，氫氟酸和氟硅酸溶液可以用來(lái)制取冰晶石、氟硅脲以及氟硅酸鈉等產(chǎn)品。

　　堿液吸收法則是采用堿性物質(zhì)（NaOH、Na₂CO₃和氨水等）作為吸收劑來(lái)脫除含氟廢氣中的氟，同時(shí)得到副產(chǎn)品冰晶石。該法適用于排氣量小、廢氣中含氟量低和回收氟有困難的企業(yè)如搪瓷廠(chǎng)、玻璃馬賽克廠(chǎng)以及水泥廠(chǎng)等。